Phường Xuân Phương nằm ở phía tây quận Nam Từ Liêm, có vị trí địa lý:

• Phía đông giáp các phường Cầu Diễn và Mỹ Đình 1
• Phía tây giáp huyện Hoài Đức
• Phía nam giáp phường Tây Mỗ
• Phía bắc giáp phường Phương Canh và quận Bắc Từ Liêm.

Phường có diện tích 2,76 km², dân số năm 2013 là 13.809 người[1], mật độ dân số đạt 5.011 người/km².

Phường Xuân Phương có 8 tổ dân phố:

1. Tổ 1 (Khu Trại Giam Số 1, Dọc trục đường Phúc Diễn)
2. Tổ 2 (Khu Liên đoàn Địa Chất Xạ Hiếm)
3. Tổ 3, 4 (Làng Thị Cấm)
4. Tổ 5, 6, 7 (Làng Ngọc Mạch)
5. Tổ 8 (Khu Chung cư Xuân Phương Residence)

Làng Thị Cấm và làng Ngọc Mạch là hai trong bảy làng Canh, cùng với các làng Kim Bảng và Hoàng Bảng (sau nhập chung là làng Kim Hoàng), An Trai và Hậu Ái (đều thuộc xã Vân Canh, huyện Hoài Đức), làng Hòe Thị (thuộc phường Phương Canh, quận Nam Từ Liêm), thuộc tổng Hương Canh, huyện Từ Liêm.[3]